以下是關於DLC塗層的詳細介紹:
基本信息
定義:DLC 塗層,即(jí)類金剛石碳膜,是一種非晶態碳膜,其結構中含有金剛石結構(gòu)(sp³ 鍵)和石墨結構(sp² 鍵)的亞穩非晶態物質,主要由碳和氫組成。外(wài)觀(guān):通常呈現(xiàn)出黑灰色。
製備方法:物理氣(qì)相沉積(PVD)
濺射(shè)法:通過高能粒子轟(hōng)擊碳靶材,使碳原子被濺射出來並沉積在基底表麵形成 DLC 塗層。
離子束(shù)沉積(IBAD):使用離子束轟擊碳源目標,釋放碳離子並使其沉積在基底表麵。
化學氣(qì)相(xiàng)沉積(CVD)
熱解 CVD:在高溫下,將含碳的氣體如甲烷、乙炔等分解為碳原子,然後沉積在基底表麵(miàn)。 光催化 CVD:利(lì)用(yòng)光催化作(zuò)用,使(shǐ)含碳氣(qì)體在基底表麵發生化學反應生(shēng)成 DLC 塗層。
射頻(pín)等離子體增強化學氣相沉積(PECVD):在沉積過程中引入射頻等離子體,增(zēng)強反應活性,實現低溫(wēn)下 DLC 薄膜的生長。
高硬度:維氏硬度可高達 2200-4000HV,接近天然金剛石(shí)的硬度,能顯著增強材料表麵的(de)耐磨性。
低摩擦係數:表麵光滑無缺陷,摩擦係數通常小於 0.2,甚至在一(yī)些情況(kuàng)下可低至 0.05-0.1,能有效減少摩擦損失。
【責任編輯】小編