DLC(類金剛石)塗層的最薄厚(hòu)度和耐溫性能因其成分、製備工藝和應用需求的不同而有所差異。以下是綜合搜索結(jié)果的分析:
1. DLC塗層(céng)的最薄厚度
常規DLC塗層:通(tōng)常在 0.5~3微米(mǐ)(μm) 之間。
超薄DLC塗層:某些特(tè)殊應用(如裝飾鍍(dù)或精密電子器件)可低至 0.5微米 甚至更(gèng)薄。例如,裝(zhuāng)飾(shì)鍍DLC在(zài)接近 0.5微米時可能出現炫彩效應。
Ta-C(四麵體非晶碳)塗層:厚度(dù)可低至0.5微米,適用(yòng)於高精度(dù)加工。
2. DLC塗層的(de)耐溫性能
標準DLC塗層:一般工作(zuò)溫度範圍為 100°C 至 350°C。超過 400°C 時,sp³鍵可能(néng)向sp²鍵轉變,導致性能退化。
矽摻雜DLC(Si-DLC):耐溫性顯著(zhe)提高,可在740°C下保持穩定(dìng)。
金(jīn)屬摻雜DLC(如Ti、W、Cr):耐溫性有所(suǒ)提升,但具體數值因摻雜元素和比例而異。
Ta-C塗層:抗氧化溫度可達 550°C。
3. 影響DLC塗層性能的關鍵因素
sp³/sp²鍵比例:sp³鍵占比越高,硬度越高,但脆性可能增加。
氫含(hán)量:含(hán)氫DLC(a-C:H)通常摩擦係數更低,但耐溫(wēn)性較差。
沉積工藝(yì):PVD(物理氣(qì)相沉積)和CVD(化學氣相沉積)會影響塗層的結構和性能。
結論
最薄DLC塗層:可低至 0.5微(wēi)米(如裝飾鍍或Ta-C塗層(céng))。
最高(gāo)耐溫DLC塗層:矽摻雜DLC可達 740°C,而標準DLC通常限於350°C。
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