類金剛石(shí)塗(tú)層(DLC)是一(yī)種由碳元素構成、在性質上和(hé)鑽石類似,同時又具有石(shí)墨原子組(zǔ)成結構的塗層物質,是一種非晶態薄膜,具(jù)有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數、耐磨(mó)損以及良好的真空摩擦特性,因此通常作為耐磨塗層使用。
DLC 塗層即類(lèi)金剛石(shí)塗層,泛(fàn)指不定(dìng)性碳的晶體結構材質。在該材質中碳原子以不同的排列方式錯中夾雜的結合在一起,從而使得該塗層具有天然的優良性能。
1、力學性(xìng)能
a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法製備的DLC膜硬度及彈性(xìng)模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以製備出(chū)硬度達到甚至超過金(jīn)剛石的DLC膜,用陰極電弧法(fǎ)製備的DLC膜比較高(gāo)硬度可達50GPa以上,而(ér)用離子源結合非平衡磁控濺射法製備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內(nèi)的成分對膜層的硬度有一定的(de)影響, Si、N的摻(chān)入可以提高DLC膜的硬(yìng)度。DLC膜具有較高的(de)彈(dàn)性模量,雖低於金剛石(110GPa),但明顯高於一(yī)般金屬和陶瓷的彈性模量。
b、內應力(lì)和結合強度。薄膜的內應力和結合強度是決(jué)定薄膜的穩定性和(hé)使用壽命,影響薄膜性能的兩(liǎng)個重要因(yīn)素,內應力高和結合強度低的DLC膜(mó)容易在應用中產生裂紋、褶皺,甚至脫(tuō)落,所以製備的DLC膜比較好具有適中的壓應力和較高的結合強度。大(dà)部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結合強度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方(fāng)法提高DLC膜(mó)與基體的結合強度,在模具鋼上沉積DLC膜的結合強度達44N-74N,製備的膜導總體厚度可達(dá)5um。
2、摩(mó)擦性能
DLC膜不僅具有優(yōu)異的(de)耐磨性,而且具有很低的摩擦(cā)係數,一般(bān)低於(yú)0.2,是一種優異的表麵抗磨損改(gǎi)性膜。DLC的摩擦係數隨製備工藝的不同和膜中成分的變化(huà)而變化(huà),其摩擦係(xì)數比較低可達0.005。摻雜金屬元素可能降低其(qí)摩擦係數,但加入(rù)H能提高潤滑作用,環境也對摩擦係數(shù)有一定的影響。但總的來說,DLC膜與傳統的硬質薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦係數方麵具有明(míng)顯優勢,這(zhè)些傳統硬質薄膜的摩擦係數都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在許多摩擦學領(lǐng)域替代這些傳統硬膜。製備的摻金屬(shǔ)DLC膜(mó)具(jù)有良好的抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦係數。
3、熱穩定性
由於DLC屬亞穩態的材料,熱穩定性差是限製DLC膜應用的一個重要因素,在300℃以上退火時即出現了sp3鍵向sp2鍵(jiàn)轉變,為(wéi)此,人們進行了大量的工作試圖提(tí)高其熱穩定性。有研究(jiū)發現:Si的加入可以(yǐ)明顯改善DLC膜的熱穩定性,含20 at%Si的DLC膜在740℃退火時才出現sp3鍵向sp2鍵轉變。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩定性。
4、耐(nài)腐蝕性
純DLC膜具(jù)有優異的(de)耐蝕性,各類酸(suān)、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的(de)DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由於(yú)摻雜的元素首先(xiān)被侵蝕,從而破壞了膜的連續性所致。
5、表麵狀(zhuàng)態
DLC膜表麵一般較光(guāng)潔,對基材的表麵光潔度(dù)沒有太大的影響(xiǎng),但隨著膜厚的增加,表麵光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的(de)DLC膜(mó)表(biǎo)麵光潔度也是不同的,采用離子源技術沉積的DLC膜表麵質量明顯優於電弧離子鍍。
DLC膜具有很好的抗粘(zhān)結性,特別是對有色金屬(如銅(tóng)、鋁、鋅等),對(duì)塑料(liào)、橡膠、陶瓷等也(yě)有抗(kàng)粘結性。
(1)鑽(zuàn)頭、銑刀
DLC膜可(kě)以應用於鑽頭(tóu)和銑(xǐ)刀上,特別是摻雜金(jīn)屬的DLC膜,它不僅具有 高的硬度,還具有低的摩擦係數、抗有色金屬粘結。
(2)光盤模具及其輔助模具
光(guāng)盤模具是生產CD、CDR、DVD的重要(yào)工具,為(wéi)了減少它與母盤(鎳 盤)的摩擦,希(xī)望模具表麵(miàn)硬且摩擦(cā)係數(shù)小,目前,國(guó)外(wài)大多采用DLC膜層,大大提(tí)高了模(mó)具的壽命和盤片的質量。鍍膜之後有硬度高,摩擦係數低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好(hǎo)且環保等特(tè)點(diǎn)。
(3)芯軸
DLC膜的耐磨減摩及耐腐蝕性,可顯(xiǎn)著提高齒輪(lún)、芯軸等運動部件的使用性(xìng)能及壽命。
(4)刀片上的應(yīng)用
現在DLC也在各種刀片如剪刀、刮胡刀等上的應用。DLC膜減小了刀片與 皮(pí)膚的摩擦,改善了刀片的性能,延長了使用壽命(mìng)。
(5)關(guān)鍵零部件(jiàn)上的應用
DLC膜在許多關鍵零部件也能發揮其優良的性能,如(rú)在製成式斯特林製冷(lěng)機的活塞上的應用利用其低的摩擦係數(shù),降低摩擦力(lì),提(tí)高耐磨性,達到無油潤滑及使用壽命要求。
在縫紉機配件-旋梭(suō)上(shàng)鍍DLC膜替代原來的電鍍硬鉻處理,不但避免了汙染環境的問題,而且,明顯提高工件(jiàn)表麵硬度及耐磨性,使用壽命提高了10倍以上,同時,也因表麵膜層摩擦係數降低後,使機器運行過程中產生的噪音變小。
(6)其它應用(yòng)
DLC膜在工模具上的(de)應用其它例子非(fēi)常多,如:粉末(mò)冶金成型模具、塑膠成(chéng)型模具、引線框彎曲(qǔ)模具、玻璃片成(chéng)型模具、鎂合金(jīn)加工模具、在軸承等。
【責任編輯】陽一