納(nà)隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐(fǔ)蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用(yòng)作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一(yī) 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的(de)摻入 量,沉積低應力的(de)多層結構。這種(zhǒng)多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕(shí)離(lí)子的擴散路(lù)徑(jìng),以增強(qiáng)其抗腐蝕性能。
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