納(nà)隆類金剛石(shí)碳基(jī)塗層(céng)因其高的抗腐蝕(shí)性、化學惰性(xìng)、抗磨 損性和低的摩擦(cā)係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一(yī) 步提高塗層的性質,而且還可以通(tōng)過控製 Si 的摻入 量,沉積低(dī)應力的多層結構。這種多層結構不但可 以(yǐ)沉積厚膜,而且還能延長腐(fǔ)蝕離子的擴散路徑,以增強其抗(kàng)腐蝕性能。
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