納(nà)隆類金剛石碳基(jī)塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損(sǔn)性和低(dī)的摩擦(cā)係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素(sù)不僅可(kě)以進一 步提(tí)高塗層的性質,而且還可以通過控(kòng)製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐(fǔ)蝕性能。
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