一、DLC類金剛石塗層工藝流程（chéng）

1、工件基體處理。這一步是比較重要的，將工件拋光到小於Ra0.2um,塗覆處理後的工件才可得到滿意的（de）表麵質量（liàng），這對成形（xíng）一些具有光學性能要求的零件是非常重（chóng）要的，類似成形光（guāng）學鏡頭和成形LED零件等。操（cāo）作的時候需要注意基體表麵（miàn）處理不能留有死角，這影響到膜層是否能與基體牢固地結合。

2、充分（fèn）清洗。將要（yào）塗覆（fù）的工件（jiàn）進行充分清洗，塗覆的母材、質量水平和幾（jǐ）何形狀決定了清洗的工藝。工件裝在設定的夾具上，夾具是在使腔體裝載（zǎi）尺寸優化和保證塗覆均（jun1）勻的基礎上設計的（de）。清洗方法為真空室抽真空至（zhì）10-6托(高真空)來排除係統中的任何汙染（rǎn）物，真空室中通（tōng）入惰性氣體並使其離子化，導（dǎo）致（zhì）產生輝光放電(等離子體)，這是氣（qì）體清洗階段使零件做好金屬沉澱準備。

3、金屬（shǔ）沉澱。在用於沉澱的固體（tǐ）金屬上（指靶（bǎ）材）加載（zǎi）高電流、低電壓電弧，金（jīn）屬被蒸發並且瞬間離子化，屬離子在（zài）高能量的作用下通過惰性氣（qì）體或活性氣體進入腔體並沉澱在工件上。在金屬沉澱過程中蒸發了的金屬(靶（bǎ）材)保持不變。在激活的沉澱過程（chéng）中，改變氣體的體積或（huò）種（zhǒng）類將會改變膜層的性質，形成像碳化物、氮化物或氧（yǎng）化物的陶瓷。同樣，通過改變靶材的材（cái）質也（yě）可（kě）以產生不同的膜層。

二、類金（jīn）剛（gāng）石塗（tú）層的質量檢驗

　　塗覆完成後，就要對成形工件的（de）膜層質量進行檢（jiǎn）驗，檢（jiǎn）測膜層厚度是否均勻、工件的光澤、膜層是否出現分層（céng）及尺寸是否（fǒu）在（zài）控（kòng）製範圍內。如果膜層出現問題、厚度超差、結合（hé）力不強等問題需要及時（shí）解決，下麵我們來了解一下相應的解決辦法是什麽吧!

1、檢驗膜層均勻度（dù）

　　檢驗成形後的膜層如果出現光澤不均勻、有花紋，應該是靶材的材質的純淨度不夠，雜質多就會導致膜層不均勻。也可（kě）能是塗覆設備的故障。

　　解決辦法：所以如果檢驗出了膜層（céng）的問題可以先（xiān）檢測設備是（shì）否（fǒu）故障，如果設備穩（wěn）定正常的話（huà）則必須更換靶材。

2、檢驗膜層厚度

　　檢驗膜層時如果發現厚度超差的情況，可（kě）能是處理（lǐ）時（shí）間過長或過短（duǎn）所導致的。

　　解決辦法：在設備穩定正常的情況下，膜層的厚度都是取決於成形的工藝時間，所（suǒ）以如果出現膜層超（chāo）差的情況隻要（yào）調整處（chù）理時間就可以了。

3、檢驗結合力

　　檢驗膜層（céng）和工件（jiàn）基體之（zhī）間的結合（hé）力，結合力不強會出現分層現象。導致這種問題的原因很多，比如工件清洗得不幹（gàn）淨、不徹（chè）底，工件（jiàn）的基體沒有拋（pāo）光（guāng）到工藝要（yào）求或者存在缺陷，成形工（gōng）藝參數不（bú）合理等。

　　解決（jué）辦法：如果出現這種情況的話需要一一排（pái）除，找到真正的原因，從而解決基體與膜層分層的（de）問題，有時需要在工件（jiàn）上預先塗覆一層金屬來消除基體本身的缺陷。