類金剛石DLC薄（báo）膜（mó）是以sp3、sp2鍵結合為主體，這種結構使得DLC薄膜具有一係列優良的物（wù）理化學性能，如（rú）紅外波段透明、硬度高、摩擦（cā）係數小、化學性能穩定（dìng）、熱膨脹係數（shù）小等（děng），從而使該薄膜在（zài）光學、電學、機械、醫學等領域引起了科研工作者的廣泛關注。目前DLC塗層應用廣泛，接下來給大家整理一下關於（yú）DLC塗層的應用以及製作方式。

一（yī）、DLC薄膜的特性（xìng）及（jí）應用 

     DLC薄膜（mó）的特殊結構決定了這種薄膜材料具（jù）有優良的特性和廣泛的應用，主要（yào）表現在:

1)較高的硬（yìng）度和優異的抗磨損（sǔn）性能，因而適合作（zuò）為硬質（zhì）工具、軸承、刀具等表麵，不僅可以延長工具的壽命，而（ér）且還可以提高功效；

2)電（diàn）阻率高(102Ω·cm~1014Ω·cm)、介電常數大、擊穿電壓高。利用這些特點，可將它製成理想的（de）超高頻（pín）和微波波段的介質材料；

3)高摻雜性。由於其帶隙寬（kuān），有利於（yú）高集成化電子（zǐ）器件在高溫條件下使用，因此該薄（báo）膜在半導體行業應用廣泛；

4)高頻、高音速特性良好。用DLC塗層製作的高頻揚（yáng）聲器振動膜頻帶寬，其頻率特性高達60KHz，目前（qián）我（wǒ）司的音膜DLC塗（tú）層工藝已成熟（shú）並且（qiě）量產。

5)具有良好的化學穩定性，耐腐蝕(防酸、堿、鹽)性能好，不僅可作為（wéi）光學元件的增透膜和保護（hù）膜，防止光（guāng）學元件被飛砂擦傷（shāng）或被酸、堿、鹽溶液腐蝕，還應用於光盤保護膜、手表玻璃保護膜、眼鏡片(玻璃、樹脂)保護膜以及汽車擋風玻璃保護膜等；

6)熱（rè）導率高，約為銅的6倍，熱膨脹係數小，具有（yǒu）好的抗熱衝擊性能。

7)具有良好（hǎo）的生（shēng）物相容性，在醫學（xué）方麵也有廣泛的應用（yòng）。塗鍍在人工（gōng）關節上（shàng）轉動部位上的DLC薄膜不會因摩擦而產生磨損，更不（bú）會與肌肉發生反應、可大幅度延長人工關節的使用壽命；

8)DLC薄（báo）膜在室溫下（xià）光致發光和電致發光率都很高，有可能在整個可見光範圍發光，因此可以用作性能極佳的發光材（cái）料之一（yī）。

二、DLC膜的製備（bèi）技術

　　自（zì）20世紀70年代人們製備（bèi）出DLC薄膜以（yǐ）來，目前已經開發了許多種沉積方法，但大體上（shàng）可以分為物理（lǐ）氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)兩大類（lèi）。PVD方法是在真空下加熱或離（lí）化蒸發材料(石墨)，使蒸發粒子沉積在基片表麵形成薄（báo）膜的一種方（fāng）法（fǎ）。按照（zhào）加熱方式不同，熱蒸發有激光蒸發、電弧蒸發、電子束加熱等方法。濺射沉（chén）積是用高能離子轟擊靶物質(石（shí）墨)，與靶表麵原子發生彈性（xìng）或非彈性碰撞，結果部分靶表麵原子或原子團濺射出來，沉積（jī）在基板上形成薄膜。CVD方法是在真空室內通入碳的氫化物、鹵化物、氧（yǎng）化（huà）物（wù），通過氣體放電，在一定條件下促使它們發生分解（jiě）、聚合、氧化、還原等化學反應過程，在（zài）基板上形成DLC薄膜的方法（fǎ）。

a、製備DLC薄膜的 PVD 技術

1. 真空電弧離子鍍
2. 脈衝激光（guāng）沉積
3. 濺射製備法
4. 非平衡磁控濺射方法
5. 其他沉積方法

b、製備DLC薄膜的CVD技術

1. 射頻等（děng）離子體化學氣相沉積
2. 直流等離子體化學氣（qì）相沉積
3. 熱絲（sī）法
4. 直接光化學（xué）氣（qì）相沉（chén）積法
5. 電子回旋共振(ECR)沉積法
6. 其他沉積方法