類金剛石碳（tàn）膜作為新型的硬質薄膜材料具有一係列優異的性能，如高硬度（dù）、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透（tòu）明性、化學惰性等，可較為用（yòng）於機械、電子（zǐ）、光學、熱學、聲學、醫學等領域，具有良好的應用前景。我們開發了等離子體-離子（zǐ）束源增強沉積係統，並同過該係統中的磁過濾真空（kōng）陰極（jí）弧和非（fēi）平衡磁控濺射來進行DLC膜的開發。該項技術（shù）較為用於電子（zǐ）、裝飾、宇航、機械和信息等領域，用於摩擦、光（guāng）學功能等用途。我國技術正處於發展和完善階段，有巨大市場潛力。DLC塗層可以應用於鑽頭和銑刀上，特別是（shì）摻雜（zá）金屬的DLC膜，它有高的硬度，有低的摩擦係數、抗有色金屬（shǔ）粘結。目前在科（kē）技的發展過程中也衍生DLC類金（jīn）剛石碳膜很多種類。

一、WCC塗層

Me-DLC塗層具有很低的內應力，因此，該種塗層具有很好的塗層結協力。但（dàn）目前（qián）最常用的（de）方法是加進鎢元素(W)，形成W-DLC(也可以是（shì）W-C:H或者a-C:H:W)。由於與其他元素相比（bǐ），W-DLC塗層（céng）具有相對較低的摩擦係數(通常（cháng）在0.1~0.2，幹式)，從而具有很好地耐磨損性能，以及良好的耐轉動接觸（chù）疲憊性能。

二、含氫DLC塗層

含氫類DLC塗層具有相對高的顯微硬度(般在2000~3000HV)和（hé）極低的摩擦係數0.05~0.15。通（tōng）過（guò）PA-CVD方法製備的含（hán）氫DLC塗層表麵（miàn）粗糙度非常低。最近，它們已經成為汽（qì）車引（yǐn）擎零（líng）部件，如杆、活塞杆和各種柴油噴射（shè）係統零部件塗層的產業標準。

三、無氫類DLC塗層

另一類DLC塗層，ta-C塗層正在越來越引起人們的愛好。由於此類塗層具有非常高的硬度及非常（cháng）好的耐摩擦性能。另（lìng）外，無氫類ta-C塗層結合（hé）某些潤滑劑（jì）能夠明顯減少摩擦，例（lì）如在尼桑汽車的（de）發動機氣閥機構上就有此類技術的應用。此類DLC塗層一般通過石墨靶的電弧蒸發來獲得。塗層（céng）的特（tè）點是具有非常高的硬度值（zhí），一般（bān）在4000~7000HV，並且幾（jǐ）乎不含氫。所以常把此類塗層叫做無（wú）氫類（lèi）DLC塗層。在ta-C類DLC塗（tú）層（céng）中，碳原（yuán）子以（yǐ）類似水晶體4晶點結構(四麵（miàn）體)為主體。DLC塗（tú）層發展至今，其發展速度是非常快，其（qí）優良的塗層性能使其得到了更（gèng）大的生存空間，我們相信於此之後肯定還有更大的發展。