自1980年以來,類金剛石塗層作為新型鍍膜技術一直廣受歡迎,而我國(guó)在這方麵也(yě)取得了一些進展,但與發達國家相比仍然還(hái)有差距。
類金剛石(shí)塗層目前有很多種類,一般類金剛石塗層分為氫(qīng)化類金剛石(shí)碳膜(a-C:H)和無氫類金剛石碳(tàn)膜(a-C)兩大類,由於其結構工(gōng)藝機理極為複雜,目前DLC塗層在高溫(wēn)下會出現穩定性問題,比如(rú)在超過400度後DLC塗層會存在很大的內應力,也會降低其結合力,會是的DLC膜層出現起皺(zhòu),脫落。
但是(shì)這也阻擋不了(le)DLC塗層由於特殊的結(jié)構,兼備鑽石性能(néng),所以它同時也擁有很多優異的性能,比如DLC塗層的抗磨性(xìng)、化學惰性、沉積溫度低、膜麵光滑,可以將其作為一些電子產品的保護膜。
類金剛石DLC在電(diàn)子行業的應用
如噴(pēn)墨打印機墨盒(hé)加熱層上、磁存儲器的表麵、電器中的音(yīn)膜、半導體行業的電路板加一層類金剛石膜 DLC 保(bǎo)護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數據存儲。
類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子(zǐ)親和力等性能。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可(kě)以避免操作過程中的機械損傷,還可以在(zài)去除薄膜表麵的汙染物允許(xǔ)用較激烈的機械或化學(xué)腐蝕方法,且且同時不會破壞薄膜的表麵。
采用類金(jīn)剛石膜和碳膜交替出(chū)現的多層(céng)膜(mó)結構(gòu)構造成的多量子阱(jǐng)結構,具有共振隧道效應的(de)和獨特的電特性,在微電子領域(yù)有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的(de)表麵平麵光滑度,電子發射均勻(yún)性好(hǎo),即使在較低(dī)的外電(diàn)場作用下,也可產生(shēng)較大的發(fā)生電流,這個性能在平板顯示(shì)器中有著特殊的(de)使用價值。
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