半導體晶片加工的遊星輪，遊星輪上均布有多個用於放置半導體（tǐ）晶片的孔位,其中一個（gè）所述孔（kǒng）位的一側設置有用於判斷半導體（tǐ）晶片起始放入位置的標識，以所述標識為起點按一定的規則順序依次將半導體晶片放入相應（yīng）的所述孔位中。本實用新型準確的記錄（lù）了（le）晶片（piàn）在遊星（xīng）輪中的實際位置，避免了晶片在遊（yóu）星輪中的無序擺放（fàng）。而半導體專（zhuān）遊星輪在使用中遇到輪（lún）齒（chǐ）損耗快，易變（biàn）性易被空氣腐蝕，導致使用壽命短的（de）問題（tí），而DLC類金剛石塗層工藝（yì）可以（yǐ）解決以上問題。

DLC塗層又稱類金剛石塗層，硬度高(>HV2200)，幹摩擦係數低(0.05-0.1)。是一（yī）種（zhǒng）無油（yóu）自潤滑（huá）塗層。DLC塗層厚度可達到0.55um，並以最（zuì）新工藝使產品（pǐn）具有良好的潤滑、散（sàn）熱（幹式（shì））、絕（jué）緣防靜電、化學性能穩定等性能，使工件壽（shòu）命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，從而降（jiàng）低生產成本。

做了DLC處理的不鏽鋼遊星輪對酸（suān）堿具有良好的抗腐蝕能力，適用於在（zài）磨拋過程含有酸堿性工藝的產品使用。耐磨性強以不鏽鋼遊星（xīng）輪實際工作為例，連續工作（zuò） 8500 轉;表麵無磨損（sǔn）,產品的表麵維氏（shì）硬度達到（dào） HV2800以上，由於遊星輪跟其他工件（jiàn）摩擦，容易產生靜電，而做（zuò）了DLC塗層有防靜電絕緣性能，從而保（bǎo）護半導體（tǐ）芯片。從而，提高了半導體晶片（piàn）加工的遊星輪的使用壽命。