一般情況下,DLC 塗層的工作溫度範圍在 - 150°C 到 500°C 之間25。但在實際應用(yòng)中,不同工藝和(hé)成分的 DLC 塗層耐溫性有所(suǒ)差異:
常(cháng)規 DLC 塗層
在 300℃以上(shàng)退(tuì)火時,DLC 塗層會出現 sp3 鍵向 sp2 鍵轉變,導致塗層性(xìng)能發生(shēng)變化,其最高耐受溫度通常在 350℃左(zuǒ)右。
1.矽摻雜 DLC(Si-DLC):
含 20at% Si 的 DLC 膜在 740℃退火(huǒ)時才出現 sp3 鍵向 sp2 鍵轉變,顯著提(tí)高了熱穩定性。
2.金屬摻雜 DLC(如 Ti、W、Cr 摻雜):
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